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带报警功能的连续自检;
大稀释比,响应速度快;
双向RS232端口用于远程控制;
石英气相滴定气室,多校准气接口;
彩屏显示,触屏操作,大容量内存,自动存储历史数据。
稀释气流量范围:(0~5)SLPM、(0~10)SLPM、(0~20)SLPM可选
校正气流量范围:(0~50)sccm、(0~100)sccm、(0~200)sccm可选
流量控制精确度:±1%F.S.
流量线性:±(0.5~1)%F.S.
流量控制重复性:±0.2%F.S.
臭氧发生器输出:0.1μmol/mol ~6 μmol/mol(ppm)
响应时间:<60s(T98)
标气输入口:4个
稀释气输入口:1个
工作温度:5℃~40℃
工作湿度:0~95%RH
尺寸:178mm×432mm×620mm
重量:<15kg(基本单元)
电源:100VAC~240VAC,45Hz~60Hz
模拟输出:10V、5V、1V、0.1V(可选)
通讯方式:RS232,RS485和以太网(选配)